Ваздушни компресор без уља за лабораторије за полупроводнике

Да бисте успоставили поуздане комуналне линије за установе за прецизна истраживања, извор из Кинеског компресора за ваздух без уља за добављаче Семицондуцтор Лабс. ДЕЦХУАН-ова решења за ваздух високе чистоће користе вишеслојне угљеничне изолационе заптивке да елиминишу трагове угљоводоника, обезбеђујући нетакнути квалитет гаса за критично јеткање силикона.

Критични захтеви за чистоћу гаса за чисту просторију

У производњи полупроводника и литографији танког филма, чак и једна микроскопска кап уљне паре која се преноси кроз ваздушни вод може уништити читаву производну серију. Овај специјализовани производ је пројектован да задовољи апсолутно највише стандарде чистоће:

• Испорука ваздуха класе 0 са ТУВ сертификатом: Наши системи пролазе ригорозно тестирање на променљивим радним температурама. Независна анализа потврђује апсолутно нула трагова уља у излазној струји ваздуха.

• Унутрашњи ваздушни путеви без корозије: Сваки комад цевовода, снопа хладњака и матрице за одвајање низводно од коморе за компресију је направљен од врхунског нерђајућег челика како би се спречило да љуспице рђе контаминирају ваздушне линије чисте просторије.

• Напредна Електроникон® интеграција: Интегрисани контролер пажљиво прати оперативне метрике и карактерише проактивна сигурносна искључења како би се осигурало да нечист ваздух никада не уђе у лабораторијску мрежу.

Висока цена микро-контаминације у електроници

У производњи полупроводничких плочица, једна капљица уљног аеросола може контаминирати читаво окружење чисте просторије, уништавајући хиљаде силицијумских плочица и проузрокујући милионе изгубљеног времена производње. Традиционални ваздушни компресори не могу гарантовати апсолутну нулту чистоћу угљоводоника потребну за ове нанометарске процесе.

Специјализовани ваздушни компресор без уља за Семицондуцтор Лабс гарантује чисту сигурност процеса:

• Сертификовани проток ваздуха КЛАСЕ 0: Стриктно тестиран од стране ТУВ-а у екстремним термичким опсегима и опсегу притиска како би се осигурало апсолутно нулто присуство уља.

• Унутрашњост без честица: Предхладњаци од нерђајућег челика и измењивачи топлоте са звездастим перајем елиминишу оксидационе љуспице или хемикалије унутар ваздушног пута.

• Електронски надзорни штит: аларми за проактивно одржавање и аутоматско искључивање због квара спречавају девијације система пре него што стигну до ваших алата за чисту собу.

Технички параметри чистоће

• Оцена снаге система: 55кв - 900кв конфигурације високе густине.

• Запреминска брзина испоруке: 4,2 - 148,5 м³/мин излаз чисте струје.

• Класификација садржаја уља: ИСО 8573-1 класа 0 потпуно без уља.

• Распоред хлађења: хлађење течности од нерђајућег челика спречава испуштање хемикалија.

Референтни услови перформанси за јединицу мерени су у складу са Анексом Ц, 4. издање (2009) ИСО 1217:

· Релативна влажност: 0%

· Апсолутни улазни притисак: 1 бар

· Улазна температура: 20°Ц Брзина пражњења (ФАД) је измерена при следећим радним притисцима:

Тип константне брзине:

·  -7,5 бар тип: 7 бар

· -8,6 бар тип: 7 бар

· -10 бар тип: 9 бар

ВСД тип:

· -8,6 бар тип: 7 бар

· Тип -10,4 бара: 9 бара

· (2) Класа А пондерисани ниво звучног притиска емисије радне станице (ЛпВСАд). Измерено према ИСО 2151:2004 (користећи методу скенирања интензитета звука 150 9614/2). Новододати фактор корекције је потпуно неизвесна вредност (КпАд), у складу са кодом за тестирање.

· (3) Тежина је само за референцу; стварна испоручена тежина ће преовладати.

ЗР/ЗТ 110-160 (ФФ) СТД

Према ИСО 1217 Анекс Ц, 4. издање (2009), референтни услови перформанси јединице су следећи:

· Релативна влажност: 0%

· Апсолутни улазни притисак: 1 бар

· Улазна температура: 20°Ц

ФАД померања се мери при следећим радним притисцима:

Модели са константном брзином:

-7,5 бара модели: 7 бара

-8,6 бар модели: 7 бара

-Модели од 10 бара: 9 бара

ВСД модели:

-8,6 бар модели: 7 бара

-10,4 бар модели: 9 бар

(2) Класа А пондерисани ниво звучног притиска емисије радне станице (ЛпВСАд). Измерено према ИСО 2151:2004 (метода скенирања интензитета звука по ИСО 9614/2). Новододати фактор корекције КпАд је неизвестан, у складу са кодом за тестирање.

(3) В1=380В, В2=400В.

(4) Тежина је само за референцу; стварна тежина ће преовладати.

ЗР/ЗТ 200-275 (ФФ)

-Релативна влажност: 0%

-Апсолутни улазни притисак: 1 бар

- Температура на улазу: 20 ° ℃

Брзина пражњења (ФАД) је мерена при следећим радним притисцима

Тип константне брзине:

-7,5 бар тип: 7 бар

-8,6 бар тип: 7 бар

-10 бар тип: 9 бар

ВСД тип:

-8,6 бар тип: 7 бар

-10,4 бар тип: 9 бар

(2) Класа А пондерисани ниво звучног притиска емисије радне станице (ЛпВСАд).

Измерено према ИСО 2151:2004 (помоћу 150 9614/2 (метода скенирања интензитета звука).

Новододати фактор корекције је потпуно неизвесна вредност (КпАд), у складу са кодом за тестирање.

(3) Тежина је само за референцу; стварна испоручена тежина ће преовладати.

ЗР 300-750

Референтни услови перформанси за јединицу мерени су у складу са Анексом Ц, 4. издање (2009) ИСО 1217:

· Релативна влажност: 0%

· Апсолутни улазни притисак: 1 бар

· Улазна температура: 20°Ц Брзина пражњења (ФАД) је измерена при следећим радним притисцима:

Тип константне брзине:

·  -7,5 бар тип: 7 бар

· -8,6 бар тип: 7 бар

· -10 бар тип: 9 бар

ВСД тип:

· -8,6 бар тип: 7 бар

· Тип -10,4 бара: 9 бара

· (2) Класа А пондерисани ниво звучног притиска емисије радне станице (ЛпВСАд). Измерено према ИСО 2151:2004 (користећи методу скенирања интензитета звука 150 9614/2). Новододати фактор корекције је потпуно неизвесна вредност (КпАд), у складу са кодом за тестирање.

· (3) Тежина је само за референцу; стварна испоручена тежина ће преовладати.

ЗР 200Кс-400Кс

Референтни услови перформанси за јединицу мерени су у складу са Анексом Ц, 4. издање (2009) ИСО 1217:

· Релативна влажност: 0%

· Апсолутни улазни притисак: 1 бар

· Улазна температура: 20°Ц Брзина пражњења (ФАД) је измерена при следећим радним притисцима:

Тип константне брзине:

·  -7,5 бар тип: 7 бар

· -8,6 бар тип: 7 бар

· -10 бар тип: 9 бар

ВСД тип:

· -8,6 бар тип: 7 бар

· Тип -10,4 бара: 9 бара

· (2) Класа А пондерисани ниво звучног притиска емисије радне станице (ЛпВСАд). Измерено према ИСО 2151:2004 (користећи методу скенирања интензитета звука 150 9614/2). Новододати фактор корекције је потпуно неизвесна вредност (КпАд), у складу са кодом за тестирање.

· (3) Тежина је само за референцу; стварна испоручена тежина ће преовладати.

Студија случаја корисника Лабораторије за чисту собу

Произвођач електронике у Азији је инсталирао ДЕЦХУАН-ов специјализовани ваздушни систем за снабдевање петљи за производњу азота високе чистоће и пнеуматских руку за тестирање. Раније су стандардни компресори дозвољавали траговима уљних испарења да мигрирају поред уграђених филтера, облагања литографских сочива и изазивања микро-фрактуре у премазима плочица. Након инсталирања компресора ваздуха без уља за лабораторије Семицондуцтор Лабс, лабораторија је пријавила нула инцидената контаминације водова повезаних са уљем, чиме је уштедео значајне трошкове чишћења чистих просторија и рекалибрације током две године непрекидног рада.

Кројење и контрола прилагођених компоненти

• Надоградња материјала од нерђајућег челика: Замењујемо све стандардне унутрашње ливене компоненте са нерђајућим челиком високог квалитета како бисмо испунили строге смернице за микро-контаминацију.

• Напредни комуникациони протоколи: Јединица је унапред учитана специјализованим комуникационим протоколима, омогућавајући контролним центрима чистих просторија да даљински надгледају метрику ваздуха.

• Компактан структурални отисак: Унутрашњи распоред је оптимизован да би се минимизирао отисак, што га чини лаким за инсталацију у уским лабораторијским подрумским просторима.

Често постављана питања о индустријским купцима

П: Да ли можемо да повежемо овај компресор директно на филтерске петље ултра-високе чистоће (УХП)?

О: Да, наш излаз ваздуха је у потпуности компатибилан са напредним сушачама за сушење чистих просторија и системима за филтрирање честица испод микрона. Пошто сирови ваздух не садржи уљну пару, ваши специјализовани филтери на месту употребе неће се зачепити уљном маглом, продужавајући век трајања филтера.

П: Како заптивке типа З обезбеђују нулту миграцију уља из склопа зупчаника?

О: Ваздушни компресор без уља за лабораторије Семицондуцтор карактерише физички атмосферски вентилациони простор између кућишта зупчаника подмазаног уљем и коморе за суву компресију. Специјализоване бесконтактне карбонске прстенасте заптивке су упарене са каналима негативног притиска, обезбеђујући да је магла уља у зупчаницима потпуно блокирана да уђе у струју чистог ваздуха.

П: Шта се дешава ако сензор унутрашње температуре открије ненормално очитавање?

О: Електроникон® контролер узоркује виталне податке више пута у секунди. Ако се у било којој фази открије скок температуре, систем тренутно покреће аутоматизовано искључивање и затвара изолационе вентиле, обезбеђујући да неохлађени ваздух никада не тече низводно у осетљиву опрему ваше лабораторије.